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【マイクロ構造技術】

(☆A)【マイクロ構造技術】:マイクロ構造装置またはシステムを含む。

このマイクロ構造装置またはシステムとは、サイズがきわめて小さいことによって特徴付けられている。典型的には10−4から10−7mの範囲である。すなわち、少なくとも一次元において、その重要な特徴が光学顕微鏡を使わなければ完全には見分けられないようなサイズである。そのようなサイズの必須の要素または構造を少なくとも一つ含んでいる、マイクロ構造装置またはシステムのこと。

(☆B)【マイクロ構造技術】:下記の言葉を以下に示すような意味で用いることにする。

−−−「マイクロ構造の装置」とは−−−

1.マイクロマシン装置。可動の、可撓性の、または変形可能な要素からなるもの。

2.マイクロ構造からなる三次元構造物。そのマイクロ構造には、可動の、可撓性の、または変形可能な要素がない。純粋な電子的または化学的機能ではなく、置かれた環境と相互作用するために必須の構造的機能を果たすように設計されている。それは、構造がマイクロ電子装置と結合しているかどうか、または特定の物質で構成されているかどうかに関わらない。

−−−「マイクロ構造システム」とは−−−

1.マイクロ構造装置と協同するシステム。

2.マイクロ電気機械システムまたはマイクロ光学機械システム。マイクロ構造装置の機能を、制御し、解析し、または信号化するために、電気的または化学的部品とマイクロ構造装置の特定部分とが共通の基層の上で結合しているもの。

【マイクロ構造装置またはシステム】

例えば、マイクロマシン装置。圧電素子、電歪素子、または磁歪素子それ自体である。

(☆A)この【マイクロ構造装置またはシステム】の項目では、以下のものを包まない。

A−1.純粋な電気的または電子的装置それ自体。

A−2.純粋な光学的装置それ自体。

A−3.基本的に平面的である構造物(例えば、積層体製品)。

A−4.化学的または生物学的構造物それ自体。

A−5.単一の原子または分子を操作して作る原子規模の構造物。

[1] 可動の、または可撓性の要素がない装置。

(例:マイクロ毛細管装置)

[2] 可撓性の、または変形可能な要素。

(例:弾性上のある舌片または薄膜からなる装置)

[3] 相互に移動可能な要素。

(例:スライド可能または回転可能な要素からなる装置) [4] マイクロ構造システム。

[4−1]その機能に特に適した、別体の電気的または光学的装置を含むもの。

(例:マイクロ電気機械装置)

[4−2]同種のマイクロ構造装置のネットワークまたは配列。

【マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に特に適合した方法または装置】

(マイクロカプセルまたはマイクロバルーンの製造;圧電素子、電歪素子、または磁歪素子自体の製造や処理に特に適した方法または装置)

(☆A)この【マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に特に適合した方法または装置】の項目では、以下のものを包まない。

A−1.純粋に電気的または電子的装置の製造または処理のための方法または装置。

A−2.単一の原子または分子の操作を行う方法または装置。

[1] 基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理。

[2] 個別に処理された構成部品からの、装置またはシステムの組立。

[3] 上記[1][2]に分類されない方法または装置。


ナノ技術

【ナノ構造物;その製造または処理】

(☆A)この【ナノ構造物;その製造または処理】の項目では、化学構造物または生物学的構造物それ自体は包含しないものを扱う。

(☆B)この【ナノ構造物;その製造または処理】の項目においては、下記の言葉を以下に示すような意味で用いることにする。

−−−「ナノ構造」とは−−−

原子規模で正確な配列。下記のような必須の構成要素を少なくとも一つ含んでいるもの。特別に形成された形状を有する。

1.単一の原子、分子。または、きわめて限られた数の原子または分子の集合のみで形成されたもの。この集合全体は、光学顕微鏡では検出できない。

2.その配列の製造過程で、その原子または分子を区別された単位として個別に操作しながら形成された構成要素。

(☆C)(☆B)で定義された、そのサイズに直接関係する特殊な性質を持つナノ構造物は、その製造方法の如何に関わらず、この【ナノ構造物;その製造または処理】の項目に分類して取り扱う。

[1] ナノ構造物

[2] ナノ構造物の製造または処理


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